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半導体精密製造を強化 - アトラスコプコの統合真空システムは 93.5% の画期的な省エネを達成

集積回路や表示パネルの製造分野では、精密部品の加工精度や生産効率が業界の競争力に直結します。

最近、アトラスコプコ国内半導体コア部品サプライヤー向けの真空システムの更新が完了しました。 GHS 1900 VSD⁺ シリーズのインテリジェント可変周波数を使用することにより真空ポンプ集中真空ソリューションにより、クライアントの生産上の課題に効果的に対処し、効率的で安定した省エネの包括的なソリューションによって精密製造のアップグレードを支援します。


顧客の背景と問題点

シリコン、石英、炭化ケイ素、アルミナセラミックスなどのハイエンド機器部品の研究・生産を専門とする企業です。また、溶解・再生、精密洗浄などの中核となる表面処理サービスも提供しています。このワークショップには 220 台の CNC 加工機があり、真空吸引を利用してワークピースを固定します。以前、このお客様は負圧を生成するために真空発生器を使用していましたが、高精度の処理シナリオでは、複数のボトルネックが徐々に明らかになりました。

問題点 1

真空圧が不安定で、ワークの擦れが頻繁に起こる。真空圧が不安定で変動し、真空度が低いと、ワークピースの密着性が失われ、加工中にワークステーションから離れてしまい、製品がスクラップになってしまいます。

問題点 2

何百もの真空発生器、大量のエネルギー消費。設置電力が 815KW の元の機器の実際の動作消費電力は 740KW にもなり、エネルギーを大幅に浪費しています。

問題点 3

メンテナンスコストが高く、生産能力に影響を与える。真空発生器の頻繁な故障や交換は高額なメンテナンスコストをもたらし、頻繁な停止は生産損失につながります。

問題点 4

設備騒音が高く、作業環境の改善が急務。生産現場では過剰な設備騒音により作業環境が悪化します。お客様は、効率的で省エネな改修計画を緊急に必要としています。



アトラスコプコの真空ソリューション

顧客の中核的な要求に応えて、アトラスコプコの真空専門家チームは、現場で正確な測定と状態分析を複数回実施し、パイプラインエンジニアリング、前処理システム、真空ポンプセット、インテリジェント制御を含む集中真空ソリューションを調整しました。

1. インテリジェントな可変周波数ドライブ 2. 2 台中 1 台のバックアップ スキームを使用して、3 台の革新的な GHS 1900 VSD⁺ オイル潤滑スクリュー真空ポンプが選択され、生産の継続性を確保するために「2 台中 1 台のバックアップ」構成が採用されました。

2. 厳格なテスト、包括的なアップグレード

システム全体の設置電力はわずか 74KW で、元の機器と比較してエネルギー消費ベースが大幅に削減されます。お客様向けの小規模なテストを通じて、ソリューションの安定性と省エネ性能がお客様に高く評価され、包括的な変革を開始することができました。

2 か月にわたるパイプラインの最適化とシステムのデバッグの後、集中真空システムが元の真空発生器を置き換えることに成功し、ワークショップ全体にわたる真空供給の統一管理を実現しました。

お客様の現場写真


プロジェクトの成果

この改修により、この企業のクライアントに次のような主要な利点がもたらされました。

収量保証

真空圧力を一定に設定することで吸着不良を防ぎ、ワークの廃棄を防ぎ、精密加工を確実に保証します。

効率的な省エネ

現場の電力メーターの測定結果では、お客様の期待を大きく上回る93.5%の省エネ効果が得られました。

コストの最適化

真空発生器の定期的な交換プロセスがキャンセルされ、メンテナンス、労力、ダウンタイムの損失が大幅に削減され、トータルのライフサイクルコストが大幅に最適化されます。

環境改善

GHS VSD⁺ シリーズ製品の低騒音設計と集中レイアウトにより、機器を生産作業場から離れた専用の機器室に配置できるため、お客様の作業場での作業環境が改善され、企業のグリーン生産コンセプトに適合します。

ESGへの対応

このソリューションの全自動集中下水排出機能により、下水処理の標準化が可能となり、作業場管理の高度化が容易になります。

真空技術のエキスパートとして、アトラスコプコ周波数可変のGHS VSD⁺シリーズ真空ポンプは、省エネ、集中力、インテリジェンスという主な利点を備えており、精密製造のさまざまなシナリオに広く適応されています。

今後もアトラスコプコは、カスタマイズされたソリューションで業界の需要に応え続け、企業がコスト削減と効率向上、グリーントランスフォーメーションの道を着実に前進できるよう支援し、ハイエンド製造の中核的な競争力を共同で構築していきます。


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