DECHUAN は、半導体研究所向けにオイルフリー エアコンプレッサーを直接輸出向けに製造しています。この特殊なシステムは、認定されたオイルフリーの空気を提供し、クリーンルームのウェーハ汚染や高価なマイクロチップの製造欠陥を防ぎます。お問い合わせ！
精密研究施設向けの信頼できるユーティリティ ラインを確立するには、中国の半導体研究所向けオイルフリー エアコンプレッサーのサプライヤーから調達してください。 DECHUAN の高純度空気ソリューションは、多層カーボン隔離シールを利用して微量の炭化水素を除去し、重要なシリコン エッチングに最適なガス品質を保証します。
半導体製造や薄膜リソグラフィーでは、空気ラインを通って運ばれる油蒸気のほんの一滴でも、生産バッチ全体が台無しになる可能性があります。この特殊な製品は、絶対的に最高の純度基準を満たすように設計されています。
• TÜV 認定クラス 0 空気供給: 当社のシステムは、さまざまな動作温度にわたって厳格なテストを受けています。独立した分析により、出力空気流中にオイルの痕跡がまったく存在しないことが確認されています。
• 腐食のない内部空気経路: 圧縮チャンバーの下流の配管、クーラーバンドル、および分離マトリックスのすべての部分は高級ステンレス鋼で作られており、錆びによるクリーンルームの空気ラインの汚染を防ぎます。
• 高度な Elektronikon® 統合: 統合コントローラーは運用メトリクスを綿密に追跡し、実験室のグリッドに不純な空気が入らないようにするプロアクティブな安全シャットダウン機能を備えています。
半導体ウェーハの製造では、オイル エアロゾルの 1 滴がクリーンルーム環境全体を汚染し、数千枚のシリコン ウェーハを台無しにし、何百万もの生産時間の損失を引き起こす可能性があります。従来のエアコンプレッサーは、これらのナノメートルスケールのプロセスに必要な炭化水素の絶対的純度を保証できません。
半導体研究所向けに特化したオイルフリー エアコンプレッサーは、純粋なプロセスのセキュリティを保証します。
• 認定クラス 0 エアフロー: 極端な熱および圧力範囲にわたって TÜV によって厳密にテストされ、オイルの存在が絶対にゼロであることが保証されます。
• 微粒子のない内部構造: ステンレス鋼のプレクーラーとスターフィン熱交換器により、空気経路内の酸化フレークや化学物質の脱落が除去されます。
• 電子監視シールド: プロアクティブなメンテナンス アラームと自動障害シャットダウンにより、システムの逸脱がクリーンルーム ツールに到達する前に防止されます。
• システム定格電力: 55kw ～ 900kw の高密度構成。
• 体積吐出量: 4.2 ～ 148.5 m3/min のクリーン ストリーム出力。
• 油分分類: ISO 8573-1 クラス 0 完全オイルフリー検証。
• 冷却レイアウト: 化学物質のガス放出を防ぐステンレス鋼の液体冷却。
ZR/ZT 55-90 (FF) STD| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR55 -7.5STD | 7.5 | 169.7 | 10.2 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR55 -8.6STD | 8.6 | 156.6 | 9.4 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR55-10STD | 10 | 140.9 | 8.5 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR75 -7.5STD | 7.5 | 224.7 | 13.5 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR75 -8.6STD | 8.6 | 214.9 | 12.9 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR75-10STD | 10 | 205.0 | 12.3 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR90 -7.5STD | 7.5 | 267.2 | 16.0 | 90 | 72 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR90 -8.6STD | 8.6 | 250.9 | 15.1 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR90-10STD | 10 | 236.5 | 14.2 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT55-7.5STD | 7.5 | 166.4 | 10.0 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT55 -8.6STD | 8.6 | 153.2 | 9.2 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT55-10STD | 10 | 137.6 | 8.3 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT75 -7.5STD | 7.5 | 221.3 | 13.3 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT75 -8.6STD | 8.6 | 211.6 | 12.7 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT75-10STD | 10 | 201.6 | 12.1 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT90 -7.5STD | 7.5 | 263.9 | 15.8 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT90 -8.6STD | 8.6 | 247.5 | 14.9 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT90-10STD | 10 | 233.1 | 14.0 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 74.7-229.4 | 4.5-13.8 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 81.7-202.9 | 4.9-12.2 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 74.1-282.5 | 4.4-16.9 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 75.5-250.5 | 4.5-15.0 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 71.2-226.0 | 4.3-13.6 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 78.2-199.6 | 4.7-12.0 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 70.6-279.1 | 4.2-16.7 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 72.0-247.1 | 4.3-14.8 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
ユニットの性能基準条件は、ISO 1217 の付録 C、第 4 版 (2009) に従って測定されました。
・相対湿度：0%
· 絶対入口圧力: 1 bar
· 入口温度: 20°C 吐出量 (FAD) は、以下の動作圧力で測定されました。
定速タイプ：
・-7.5バータイプ：7バー
・-8.6バールタイプ：7バール
・-10バータイプ：9バール
VSD タイプ:
・-8.6バールタイプ：7バール
・-10.4バータイプ：9バー
· (2) ワークステーション (LpWSAd) のクラス A 加重放射音圧レベル。 ISO 2151:2004 に従って測定 (150 9614/2 音響強度スキャン法を使用)。新たに追加された補正係数は、テストコードに準拠した完全に不確実な値（KpAd）です。
· (3) 重量は参考値です。供給された実際の重量が優先されます。
ZR/ZT 110-160 (FF) STD
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR110 -7.5 STD | 7.5 | 318.2 | 19.1 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110 -8.6 STD | 8.6 | 297.5 | 17.8 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110-10STD | 10 | 277.6 | 16.7 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132 -7.5 STD | 7.5 | 362.9 | 21.8 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132 -8.6 STD | 8.6 | 338.5 | 20.3 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132-10STD | 10 | 314.4 | 18.9 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR145 -7.5 STD | 7.5 | 392.9 | 23.6 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR145 -8.6 STD | 8.6 | 364.1 | 21.8 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR145-10STD | 10 | 350.8 | 21.0 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160 -7.5 STD | 7.5 | 434.0 | 26.0 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160 -8.6 STD | 8.6 | 418.3 | 25.1 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160 -10 STD | 10 | 399.0 | 23.9 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT110 -7.5 STD | 7.5 | 315.0 | 18.9 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT110 -8.6 STD | 8.6 | 294.2 | 17.6 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT110-10STD | 10 | 274.3 | 16.5 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT132 -7.5 STD | 7.5 | 359.6 | 21.6 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT132 -8.6 STD | 8.6 | 335.3 | 20.1 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT132-10STD | 10 | 311.1 | 18.7 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT145 -7.5 STD | 7.5 | 389.6 | 23.4 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT145 -8.6 STD | 8.6 | 360.8 | 21.6 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT145-10STD | 10 | 347.5 | 20.9 | 145 | 79 | 3126 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160 -7.5 STD | 7.5 | 430.6 | 25.8 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160 -8.6 STD | 8.6 | 414.9 | 24.9 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160-10STD | 10 | 395.6 | 23.7 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR110VSD-8.6 STD | 8.6 | 100.5～319.3 | 6.0-19.2 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD-10.4 STD | 10.4 | 167.1-292.1 | 10.0～17.5 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-8.6 STD | 8.6 | 107.1-357.1 | 6.5-21.4 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-10.4 STD | 10.4 | 166.6～331.0 | 10.0～19.9 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 123.3～390.0 | 7.4-23.4 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 166.6-357.8 | 10.0～21.5 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 123.3-411.0 | 7.4-24.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 166.6-377.6 | 10.0～22.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT110 VSD-8.6 | 8.6 | 99.9-327.6 | 6.0-19.2 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT110 VSD-10.4 | 10.4 | 165.5-291.9 | 9.9-17.5 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT132 VSD-8.6 | 8.6 | 124.8-357.5 | 7.5-21.4 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT132 VSD-10.4 | 10.4 | 164.9-331.2 | 9.9-19.9 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160 VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 143.9-388.8 | 8.6～23.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160 VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 164.9-358.2 | 9.9-21.5 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160 VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 146.9-438.2 | 8.8～26.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT160 VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 164.9-378.1 | 9.9-22.7 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
ISO 1217 Annex C、第 4 版 (2009) によると、ユニットの性能参照条件は次のとおりです。
・相対湿度：0%
· 絶対入口圧力: 1 bar
・入口温度：20℃
変位 FAD は、次の動作圧力で測定されます。
定速モデル：
-7.5バールモデル：7バール
-8.6バールモデル：7バール
-10バーモデル：9バール
VSD モデル:
-8.6バールモデル：7バール
-10.4バールモデル：9バール
(2) ワークステーション (LpWSAd) のクラス A 加重放射音圧レベル。 ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 音響強度走査法) に従って測定。新たに追加された補正係数 KpAd はテストコードに準拠しており、不確実です。
(3) V1=380V、V2=400V。
(4) 重量は参考値です。実際の重量が優先されます。
ZR/ZT200-275(FF)
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR200 -7.5 | 7.5 | 602.3 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR200 -8.6 | 8.6 | 552.1 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR200-10 | 10 | 506.6 | 30.0 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR250 -7.5 | 7.5 | 718.0 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR250 -8.6 | 8.6 | 684.3 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR250-10 | 10 | 622.8 | 37.4 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR275 -7.5 | 7.5 | 774.4 | 46.5 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR275 -8.6 | 8.6 | 718.0 | 43.1 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR275-10 | 10 | 683.9 | 41.0 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR275-13 | 13 | 561.8 | 33.7 | 275 | 70 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2008 |
| ZT200 -7.5 | 7.5 | 567.1 | 34.0 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT200 -8.6 | 8.6 | 519.5 | 31.2 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT200-10 | 10 | 497.4 | 29.8 | 200 | 78 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT250 -7.5 | 7.5 | 711.5 | 42.7 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT250 -8.6 | 8.6 | 676.8 | 40.6 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT250-10 | 10 | 614.3 | 36.9 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT275 -7.5 | 7.5 | 745.4 | 44.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT275 -8.6 | 8.6 | 711.5 | 42.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT275 -10 | 10 | 676.4 | 40.6 | 275 | 78 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR250 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-714.4 | 14.6-42.9 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR250 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-640.2 | 14.1-38.4 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR315 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-788.1 | 14.6-47.3 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR315 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2～700.0 | 14.1～42.0 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZT250 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0～696.9 | 14.3-41.8 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT250 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-633.4 | 23.2-38.0 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT315 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0～739.4 | 14.3-44.4 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT315 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0～681.0 | 23.2-40.9 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
-相対湿度:0%
-絶対入口圧力: 1bar
-入口温度:20℃
吐出量（FAD）は以下の動作圧力で測定されました。
定速タイプ：
-7.5バールタイプ：7バール
-8.6バールタイプ：7バール
-10バータイプ：9バー
VSDタイプ:
-8.6バールタイプ：7バール
-10.4バールタイプ：9バール
(2) ワークステーション (LpWSAd) のクラス A 加重放射音圧レベル。
ISO 2151:2004に従って測定(150 9614/2(音響強度走査法)を使用)。
新たに追加された補正係数は、テストコードに準拠した完全に不確実な値（KpAd）です。
(3) 重量は参考値です。供給された実際の重量が優先されます。
ZR300-750
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR300 -7.5 | 7.5 | 774.6 | 46.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR300 -8.6 | 8.6 | 725.7 | 43.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR300-10 | 10 | 695.1 | 41.7 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR315 -7.5 | 7.5 | 848.0 | 50.9 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR315 -8.6 | 8.6 | 793.1 | 47.6 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR315-10 | 10 | 766.6 | 46.0 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR355 -7.5 | 7.5 | 939.1 | 56.3 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR355 -8.6 | 8.6 | 877.1 | 52.6 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR355-10 | 10 | 839.6 | 50.4 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR400 -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR400 -8.6 | 8.6 | 963.9 | 57.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR400-10 | 10 | 930.5 | 55.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR425 -7.5 | 7.5 | 1143.9 | 68.6 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR425 -8.6 | 8.6 | 1063.1 | 63.8 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR450 -7.5 | 7.5 | 1275.7 | 76.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR450 -8.6 | 8.6 | 1191.8 | 71.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR450-10 | 10 | 1106.3 | 66.3 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR500 -7.5 | 7.5 | 1399.1 | 78.3 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR500 -8.6 | 8.6 | 1305.2 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR500-10 | 10 | 1217.8 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR630 -7.5 | 7.5 | 1715.0 | 102.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR630 -8.6 | 8.6 | 1595.0 | 95.7 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR630-10 | 10 | 1484.1 | 88.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR750 -7.5 | 7.5 | 2046.2 | 122.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR750 -8.6 | 8.6 | 1827.4 | 109.6 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR750-10 | 10 | 1696.7 | 101.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 |
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | 重量-フルパフォーマンス(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR355 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1037.5 | 22.3-62.2 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR355 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-942.4 | 22.5-56.5 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR400 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1120.9 | 22.3-67.3 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR400 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-998.6 | 22.5-59.9 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR500 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-1177.9 | 22.5-70.7 | 81 | 81 | 9190 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR700 VSD -8.6 | 8.6 | 374.4-2061.8 | 54.9-123.7 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR700 VSD -10.4 | 10.4 | 849.7-1840.5 | 51.0～110.4 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR900 VSD -8.6 | 8.6 | 930.7-2475.4 | 55.8-148.5 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR900 VSD -10.4 | 10.4 | 864.8-1873.2 | 51.9-112.4 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 |
ユニットの性能基準条件は、ISO 1217 の付録 C、第 4 版 (2009) に従って測定されました。
・相対湿度：0%
· 絶対入口圧力: 1 bar
· 入口温度: 20°C 吐出量 (FAD) は、以下の動作圧力で測定されました。
定速タイプ：
・-7.5バータイプ：7バー
・-8.6バールタイプ：7バール
・-10バータイプ：9バール
VSD タイプ:
・-8.6バールタイプ：7バール
・-10.4バータイプ：9バー
· (2) ワークステーション (LpWSAd) のクラス A 加重放射音圧レベル。 ISO 2151:2004 に従って測定 (150 9614/2 音響強度スキャン法を使用)。新たに追加された補正係数は、テストコードに準拠した完全に不確実な値（KpAd）です。
· (3) 重量は参考値です。供給された実際の重量が優先されます。
ZR200X～400X
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 設置電力(kW) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR200X -7.5 | 7.5 | 623.1 | 37.4 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR200X -8.6 | 8.6 | 601.9 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR200X-10 | 10 | 551.7 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR250X -7.5 | 7.5 | 717.7 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR250X -8.6 | 8.6 | 683.8 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR315X -7.5 | 7.5 | 939.0 | 56.3 | 315 | 76 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR355X -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR355X -8.6 | 8.6 | 963.5 | 57.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR355X-10 | 10 | 930.2 | 55.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR400X -7.5 | 7.5 | 1143.8 | 68.6 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR400X -8.6 | 8.6 | 1062.7 | 63.8 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR75VSD+ | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR90VSD+ | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD+ | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD+ | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT145VSD+ | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT160VSD+ | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT75VSD+ | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT90VSD+ | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT110VSD+ | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT132VSD+ | 10.4 | 78.8-377.5 | 4.7-22.7 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT145VSD+ | 10.4 | 78.8-409.0 | 4.7-24.5 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT160VSD+ | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| モデル | 最大排気圧力(bar) | トラフィック FAD(l/s) | 交通量FAD(m3/分) | 騒音レベル(dB(A)) | 重量-標準(kg) | サイズL(mm) | サイズ W(mm) | サイズH(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR75VSD+FF | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR90VSD+FF | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD+FF | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD+FF | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR145VSD+FF | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD+FF | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZT75VSD+FF | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT90VSD+FF | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT110VSD+FF | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT132VSD+FF | 10.4 | 107.0～377.5 | 6.4-22.7 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT145VSD+FF | 10.4 | 118.0～409.0 | 7.1～24.5 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT160VSD+FF | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
ユニットの性能基準条件は、ISO 1217 の付録 C、第 4 版 (2009) に従って測定されました。
・相対湿度：0%
· 絶対入口圧力: 1 bar
· 入口温度: 20°C 吐出量 (FAD) は、以下の動作圧力で測定されました。
定速タイプ：
・-7.5バータイプ：7バー
・-8.6バールタイプ：7バール
・-10バータイプ：9バール
VSD タイプ:
・-8.6バールタイプ：7バール
・-10.4バータイプ：9バー
· (2) ワークステーション (LpWSAd) のクラス A 加重放射音圧レベル。 ISO 2151:2004 に従って測定 (150 9614/2 音響強度スキャン法を使用)。新たに追加された補正係数は、テストコードに準拠した完全に不確実な値（KpAd）です。
· (3) 重量は参考値です。供給された実際の重量が優先されます。
アジアの電子機器メーカーは、DECHUAN の特殊なエア システムを設置して、高純度窒素生成ループと空気圧試験アームを供給しました。以前は、標準的なコンプレッサーでは、微量の油蒸気がインライン フィルターを通過してリソグラフィー レンズをコーティングし、ウェハー コーティングに微小な亀裂を引き起こす可能性がありました。半導体研究所向けにオイルフリー エアコンプレッサーを設置した後、研究所ではオイル関連のライン汚染事故がゼロであることが報告され、2 年間の継続運用にわたってクリーンルームの清掃と再校正のコストが大幅に節約されました。
• ステンレス鋼素材のアップグレード: 厳格な微小汚染ガイドラインを満たすために、すべての標準内部鋳造コンポーネントを高級ステンレス鋼に置き換えます。
• 高度な通信プロトコル: このユニットには特殊な通信プロトコルが事前にロードされているため、クリーンルーム制御センターが空気メトリクスをリモートで監視できます。
• コンパクトな構造の設置面積: 内部レイアウトは設置面積を最小限に抑えるように最適化されており、狭い実験室の地下ユーティリティ スペースに簡単に設置できます。
A: はい、当社の空気出力は、高度なクリーンルーム乾燥剤乾燥機およびサブミクロン粒子濾過システムと完全に互換性があります。生の空気にはオイル蒸気が含まれていないため、使用時点の特殊フィルターがオイルミストで目詰まりすることがなく、フィルターの寿命が長くなります。
A: 半導体研究所用オイルフリー エアコンプレッサーは、オイル潤滑ギア ハウジングと乾式圧縮チャンバーの間に物理的な大気ベント スペースを備えています。特殊な非接触カーボン リング シールは負圧チャネルと組み合わされており、ギア オイルのミストがきれいな空気の流れに入るのを完全にブロックします。
A: Elektronikon® コントローラーは、重要なデータを 1 秒間に複数回サンプリングします。いずれかの段階で温度スパイクが検出されると、システムは即座に自動シャットダウンをトリガーして隔離バルブを閉じ、冷却されていない空気が下流側のラボの敏感な機器に流入しないようにします。
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